用語集
油圧ダイヤフラムポンプ
容積式ポンプの一つ
ダイヤフラムと駆動源となるピストンの間に充填した作動油（シリコン油等）で力を伝達するポンプ。
リリーフ（安全）機構を内蔵し、圧力異常時にリリーフ弁などを使わずに済むので、外気に触れさせたくない流体に有効です。
また、注入先の圧力変動にも吐出量が変化しにくく、石油化学プロセスなどの高圧ラインで用いられます。
直動ダイヤフラムポンプよりも高精度・高圧注入が可能です。
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