電子材料をダイコーターで基材に塗布している。
液の供給には回転式定量ポンプを使用しており、以下の課題を抱えていた。

• ポンプの摩耗粉が液に混入し、金属コンタミが発生した。
• ポンプの摩耗によって液の供給量が低下し、膜厚が変化している。
• 分解・洗浄・再組み立てに時間がかかっている。

当社試験施設でスムーズフローポンプを使った実液テストを繰り返し実施。
期待した送液精度と耐摩耗性評価が得られたため、ご採用いただいた。

• 接液部に摺動する部品がないため、摩耗粉がほとんど発生しなくなった。
• 液の供給量精度が長期間安定し、歩留まりが改善された。
• 接液部品が小さく、構造もシンプルなため、分解洗浄にかかる時間が短縮できた。